儀器用途：

LW400JT適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查；也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查。

性能特點(diǎn)

1、 配置大視野目鏡和長距平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片)。

2、配置移動(dòng)載物臺(tái)

3、粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動(dòng)松緊可調(diào)，帶鎖緊和限位裝置，微動(dòng)格值:2μm。

4、6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)。

5、三目鏡筒,可切換正常觀察與偏光觀察，可進(jìn)行100%透光攝影。

主要技術(shù)參數(shù)：

1、三目鏡筒：傾斜30 °，瞳距55mm-75mm，視度±5°               

2、目鏡：WF10X/18mm

3、長距平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片)

 PL 5X/0.12 、PL L10X/0.25 、PL L20X/0.40  

PL L40X/0.60 、PL L80X/0.8

4、總放大倍數(shù)：50X-800X

5、載物臺(tái)：尺寸: 280mm×270mm,移動(dòng)范圍: 204mm×204mm

6、調(diào)焦：粗微動(dòng)同軸 升降范圍25mm 

微動(dòng)格值0.002mm

7、反射光 源：12V20W亮度可調(diào)，落射照明器帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍(lán),綠)濾色片和磨砂玻璃

8、正交偏光裝置

1、目鏡：WF16X/11mm，WF20X/9mm，

10X帶尺可調(diào)目鏡

2、長距平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片)

PL L 50X/0.70、 PL L 60X/0.75 (彈簧)、 PL L 100X/0.85 (彈簧)

平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片)： PL 100X/1.25  (彈簧,油)

3、成像系統(tǒng)：數(shù)碼攝像頭500萬、800萬、1600萬相素
4、測(cè)量軟件，金相分析軟件等